光聲檢測(cè)器具有靈敏度高、線性強(qiáng)、采樣量少等特點(diǎn)?？烧{(diào)諧半導(dǎo)體激光光源在零背景噪聲測(cè)量的基礎(chǔ)上提供高選擇特性和高測(cè)量精度。由一個(gè)MEMS增強(qiáng)型懸臂傳感器組成，包括一個(gè)可以數(shù)字測(cè)量懸臂傳感器微運(yùn)動(dòng)的激光讀出干涉儀，以及一個(gè)可以測(cè)量任何模擬電信號(hào)的動(dòng)態(tài)范圍放大器。
 

　　光聲檢測(cè)器壓力傳感器顯著提高了PAS光聲光譜的靈敏度。一根很細(xì)的懸臂梁就像一扇可移動(dòng)的門，在被測(cè)氣體產(chǎn)生的壓力的作用下產(chǎn)生振動(dòng)。在相同的壓力振動(dòng)下，懸臂梁自由未連接端的位移是懸臂梁中部的兩倍，因?yàn)閼冶哿褐荒軓澢荒芾臁?/div>